레이저 머신 및 시스템

UVblade


UVblade는 308nm UV 광자를 사용하여 LLO(Laser Lift-Off) 공정을 통해 단단한 유리 캐리어에서 섬세한 폴리머 기반 디스플레이를 부드럽게 분리합니다.

LLO는 플렉서블 디스플레이 제조의 미션 크리티컬한 단계입니다. UVblade는 LLO를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 높은 광학 효율성 외에도 UVblade는 공정 최적화를 위해 라인 길이와 에너지 밀도에서 광범위한 확장성을 제공합니다.


UVblade – 몇 가지 주요 성과 지표

UVblade가 제공하는 톱햇 라인 빔 균질성(1.8%, 2σ) 및 큰(±200미크론) 초점 심도로 큰 공정 창과 최대 수율의 이점을 누리십시오.

 

제품 사양

UVblade 모델 

UVblade 250 

UVblade 380 

UVblade 465 

UVblade 750 

UVblade 1000 

레이저 펄스 에너지(mJ) 

580  

580  

1000  

1000/2000(고출력 모델) 

2000  

반복률(Hz) 

200 

200 

600 

600 

600 

빔 길이(mm) 

250 

380 

465 

750 

950