이온 주입

이온 레이저 주입 파운드리 서비스

이온 주입 요구사항에 대한 전체 서비스 파트너십은 Coherent와 함께하세요. Coherent는 모든 규모, 모든 애플리케이션을 안정적으로 지원할 수 있으며 수요 급증에 대응할 수 있는 용량을 제공합니다.

세계적 수준의 Coherent 이온 주입 파운드리는 300mm 웨이퍼 생산량부터 더 작은 크기의 웨이퍼와 칩에 대한 R&D, 화합물 반도체 기판의 가열 주입에 이르기까지 모든 형태의 주입 요구사항을 충족할 수 있습니다.

주요 기능

비교할 수 없는 경험

Coherent는 업계에서 가장 경험이 풍부한 이온 임플란트 애플리케이션 팀을 활용하여 고객의 성공을 최적화할 수 있는 가장 빠르고 비용 효율적인 방법을 제공합니다.

  • 실리콘 및 화합물 반도체 기판
  • 가열 및 상온 임플란트
  • 연구 및 개발
  • 임플란트 모델링 및 공정 매칭
  • 소형 웨이퍼

믿을 수 있는 파트너

Coherent를 임플란트 파트너로 이용하는 방법:

  • 시장 확장 또는 변화의 기회 활용
  • 예기치 않은 이온 임플란트 시스템 장애 복구
  • 이온 임플란트 공정 단계의 일부 또는 전체 아웃소싱
  • 48시간의 처리 시간 지원

종합적인 자료

  • 실리콘
  • GaAs/InP
  • SiC
  • GaN
  • Diamond 시리즈
  • LiNbO3/LiTaO3
  • InSb
  • ZnSe
  • SiO2/Si