DOE 제조 기능
탑햇, 직사각형 또는 링 빔 성형기, 1D/2D 빔 스플리터 또는 임의 비율 빔 스플리터를 포함하여 다양한 기능을 갖춘 DOE를 지정합니다.
사양
파장 범위 |
193nm~3μm |
DOE 단계 |
2~16단계 |
변환 효율(%) |
40~98% |
요소 크기 |
≤200mm |
코팅(옵션) |
반사 방지 |
맞춤형 설계 |
거의 모든 대칭 또는 임의의 형태 |
재료 |
용융 실리카, BK7 또는 고객 지정 재료 |
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