精密材料加工领域的巨大飞跃

Coherent 高意推出了其首款 HyperRapid NXT 266 工业级深紫外皮秒激光器，可提供小至 5 µm 的非凡精密制造技术。

2023 年 4 月 18 日，作者：Coherent 高意

Coherent 高意新推出的 HyperRapid NXT 266 可以烧蚀玻璃、聚合物、半导体和其他材料中尺寸小至 5 µm 的孔洞、沟槽、贯穿切口和其他结构。皮秒级超短脉冲 (USP) 输出、266 nm 波长和 10 W 平均功率组合使这款激光器能够以出色的深度控制水平可靠地加工材料，并且几乎不会产生热影响区。此外，HyperRapid NXT 266 高达 5 kHz 的重复频率和出色的可靠性意味着这款激光器支持大规模生产并能大幅度缩短停机时间。

当用于有机薄膜切割时，HyperRapid NXT 266 几乎不产生热影响区，超过了 HyperRapid NXT 355 已经取得的出色成果。

借助 HyperRapid NXT 266 提供的卓越精度，许多以前无法完成或者依赖于其他方法（例如化学蚀刻，这些方法的成本较高、加工时间长且环境特征不理想）的精密微结构成型任务现在均可轻松完成。其中包括用于制造显示屏、有机电子产品、半导体集成电路、量子计算波导、医疗植入物和生物分析仪器组件的工艺。

Coherent 高意凭借其独有的两项能力成功推出了这一基准产品。第一项能力是能够在内部培养和涂覆质量卓越的非线性晶体，以便将激光器原始红外输出的频率提高四倍，达到深紫外 266 nm 波长。没有其他组织能够持续生产可以在 HyperRapid NXT 266 功率水平下可靠运行并保证 5,000 小时生命周期的非线性晶体。

第二项关键能力是Coherent 高意在制造深紫外激光器方面的丰富经验。这需要洁净室制造设施以及生产工作流程和组装方法，以保持最终激光器包装所需的原始清洁度。