이온 주입
이온 레이저 주입기 디스크 보수 및 코팅
Coherent 디스크 보수 및 코팅 서비스를 통해 이온 임플란트 도구의 수명을 연장하고 소유 비용을 낮추며 성능을 개선할 수 있습니다.
Coherent는 모든 이온 주입기 디스크 또는 방열판의 수리, 보수 및 재생산에 대한 광범위한 역량을 보유하고 있습니다. 여기에는 1970년대 후반부터 현재까지 생산된 배치 처리 이온 주입기의 모든 제조업체와 모델이 포함됩니다.
By providing your information and clicking ‘Subscribe’, you opt-in to receiving periodic email marketing communications from Coherent Corp. and understand that your personal data will be processed in accordance with our Privacy Policy and that our Terms apply. You may opt-out of marketing emails sent by us at any time by clicking the unsubscribe link in any marketing email you receive.
주요 기능
|
It All Adds Up Our industry-leading innovations enable a 2x lifetime improvement, a 99% decrease in wafer chipping, a 50% decrease in metals contamination, an 80% decrease in fence “wear-grooving” particle generation, and a 30% average cost-of-ownership savings. |
High-Performance Coatings The Coherent low-temperature elastomer pedestal and heat sink coating increases wafer cooling, boosts productivity, and improves pad-to-pad wafer temperature uniformity. |
Torlon Fence Assemblies Utilize high wear resistance Torlon to dramatically improve fence and disk lifetime, substantially decrease wafer chipping, cut fence wear-grooving, and lower metals contamination. |
 펜스 디자인 개선 Coherent 고정밀 나사식 베어링 펜스 설계로 수명이 길고 비대칭 펜스 마모가 없으며 OEM 압착 위치 부품에서 발생하는 파티클 트랩을 제거합니다. |
추천 블로그
이온 주입 분야를 선도하는 Coherent
파운드리 서비스는 R&D부터 대량 생산까지 반도체 제조업체를 지원합니다.
주요 성공 사례
30미터 망원경 국제 천문대: 망원경의 새로운 미래를 제시하는 Coherent의 광학 기술
Coherent는 가장 야심 찬 천문학 프로젝트 중 하나인 30미터 망원경에 필요한 광학 장치 및 광학 제작 기술을 제공합니다.
