激光器

Azure NX

紧凑型下一代固态激光器在平台中提供低噪声、266 nm 连续波,采用易于集成到半导体行业的工业环境的设计。 

Azure NX 具有单频操作和绝对波长稳定功能。 它通过 LAN 或 web GUI 进行全自动操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄线宽和全天候可靠性,适用于要求严苛的应用。