Excimer-Laser
Nutzen Sie die Vorteile von hochenergetischen UV-Pulsen für die Mikroelektronik, Displays, wissenschaftliche Forschung, Medizin und Dünnschichtbearbeitung.
- Verarbeitung großer Feldgrößen Decken Sie die Probenoberfläche mit homogenen, großflächigen Zylinder-Strahlen ab.
- Skalierbare UV-Leistung Passen Sie das Leistungsniveau von der Vorproduktion bis zur Großserienfertigung an.
- Ultimative Präzision Laserenergie selektiv in die Niedertemperatur-Dünnschichtbearbeitung einbringen.
Das breiteste Portfolio an Excimerlasern
Wir verfügen über 50 Jahre Erfahrung mit Excimerlasern und wissen, dass Sie die besten Ergebnisse mit einem Excimerlaser erzielen, der auf Ihre Anwendung abgestimmt ist. Aus diesem Grund bieten wir die größte Auswahl an Laserleistungen und Energieoptionen, alle von höchster Qualität und Performance.
ExciStar
ExciStar Tisch-UV-Excimer-Laser sind für heikle Aufgaben wie Hornhautabtragung, Beschriftung von Korrekturgläsern und die Herstellung optischer Sensoren konzipiert.
- Hohe Wiederholrate – bis zu 1 kHz.
- Arbeitsplatte – 650 x 300 mm Standfläche.
- 193 nm oder 248 nm – Präzise Beschriftung und Ablation.
IndyStar
Laser der IndyStar Serie sind robuste UV-Excimer-Laser mit hoher Einschaltdauer, die für schnelle Pulsanwendungen wie Tintenstrahldüsenbohren, Messtechnik und Optikprüfungen entwickelt wurden.
- Hohe Pulsfrequenz – Bis zu 2 kHz in 24/7-Anwendungen.
- Semicon-Anwendungen – Semi-S2-kompatibel.
- 193 nm und 248 nm – Lithographieentwicklung, Masken- und Optikprüfung, Mikromaterialbearbeitung.
COMPex
COMPex UV-Laser liefern Hunderte von Millijoule Pulsenergie mit hoher Puls-zu-Puls-Stabilität und hervorragender Strahlgleichmäßigkeit für anspruchsvolle Anwendungen.
- Hohe Energie – Hunderte von Millijoule.
- Wellenlängenvielfalt – 193 nm, 248 nm, 308 nm, 351 nm.
- Unterstützt Dünnschichtbearbeitung – Waferbearbeitung, Ablagerung mit gepulsten Lasern.
LEAP
LEAP UV Excimer-Laser bieten hohe Energie, hochpräzise Bearbeitung mit unserer Kombination aus hoher Einschaltdauer, Zuverlässigkeit und niedrigen Betriebskosten.
- Große Auswahl an Leistungsstufen – Die gleiche Plattform unterstützt Großserienfertigung, Vorproduktion und Entwicklung mit bis zu 300 Watt.
- Pulse-on-Demand – Passen Sie das Pulsmuster an Ihren Prozessablauf an, um die Betriebskosten zu minimieren.
- Vielseitig – Wählen Sie aus 193 nm, 248 nm und 308 nm Modellen für Ablagerung mit gepulsten Lasern, Mikrostrukturierung oder Displaybearbeitung.
LAMBDA SX
LAMBDA SX sind industrielle UV-Excimer-Laser für den Produktionsbereich mit stabilen Hochenergiepulsen, die eine großflächige UV-Bearbeitung mit Strahlstabilität unterstützen.
- Hohe Leistung – bis zu 600 Watt.
- Hohe Pulsenergie – Bis zu 1000 mJ.
- Hohe Pulsrate – Dreischichtige Massenproduktion mit bis zu 600 Hz.
VYPER
VYPER-Kilowatt- bis Multi-Kilowatt-UV-Excimer-Laserplattformen ermöglichen den höchsten Durchsatz für die Displayproduktion in großen Mengen.
- Sehr hohe Leistung – bis zu 3600 Watt.
- Sehr hohe Pulsenergie – Bis zu 6 Joule pro Puls.
- Unübertroffene Energiestabilität – Unterstützt OLED- und MicroLED-Backplane-Verarbeitung.
Ausgewählter Blog
Eine Innovation in der Herstellung von MicroLED-Bildschirmen
Die neuen UVtransfer Systeme von Coherent revolutionieren die MicroLED-Fertigung mit Laser-Schichtseparation (LLO), Laser-induzierter Vorwärtsübertragung (LIFT) und Reparatur/Trimmung.
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