准分子紫外光系统

充分利用我们独特的高能量紫外光准分子激光器，以及为 LTPS、LLO、LIFT、PLD、LA-ICP-MS 等配置的完整光学系统。

垂直整合 使用我们寿命极长的激光器、光学器件和机械，避免风险并享受全天候运行。
久经验证的工业工具 依靠成就高性能移动显示屏的相同支持技术。
紫外光波长选项 从 193、248 和 308 nm 系统以及自定义 157 或 351 nm 选项中进行选择。

UV Excimer Laser Line Drawing

将我们的专业知识融入准分子紫外光工艺中

凭借在紫外激光器和光学系统领域 50 年的经验，我们了解管理、成型和聚焦准分子光束方面的挑战。得益于垂直整合，我们设计、制造和组装的完整系统能够满足严苛的标准。

准分子紫外光系列产品

UVtransfer 独特的三合一系统，用于 MicroLED 显示屏制造，支持激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 和激光修复，并具备高吞吐量。	三合一价值 - 集成了所有三个工艺的单一系统。	高吞吐量 - 高能量准分子激光器支持大型场尺寸。	面向未来 - 可处理从 50 µm 一直到 5 µm 的芯片尺寸。
LineBeam LineBeam 准分子紫外激光器有助于在大型基板上大规模制造低温多晶硅 (LTPS) 背板，良率极高。	长线光束 - 高达 1500 mm。	高度均匀 - 0.6 % (2σ)。	大焦深 - 高达 ±150 µm。
UVblade UVblade 准分子激光器为 LLO 提供了一种经济高效的解决方案，在线长度和能量密度方面具有较高的光学效率和广泛的可扩展性。	高度均匀 - 1.8 %	大焦深 - 高达 ±200 µm。	高脉冲能量 - 高达 2000 mJ。
准分子光束传输光学部件获取用于准分子光束传输的卓越的光学机械工具，针对高脉冲能量、短紫外光波长和高功率的独特组合进行了优化。	均匀光束 - <± 5% 通量变化。	可变衰减 - 精确的能量控制。	掩膜图像投影 - 4-10 倍的缩倍。
VarioLas VarioLas 准分子紫外线激光器基于功能强大的 COMPex 准分子激光器，适用于对线光束或方形光束场形状进行高质量紫外光微加工。	能量密度高 - 高达 7.5 J/cm²。	多功能且可调节 - 线或方形轮廓。	高光学分辨率 - ≥ 5 µm。
GeoLasHD GeoLasHD 准分子紫外光系统结合了 193 nm 脉冲、高性能极化显微镜和用于激光烧蚀 ICP-MS 的高清摄像头观测。	高光学分辨率 - 1 µm。	可变样本点 - 2 - 160 µm。	高脉冲稳定性 - 1 % (rms)。

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